Cu上の表面保護膜としてのAl-Mo合金膜の適用

書誌事項

タイトル別名
  • Cu ジョウ ノ ヒョウメン ホゴ マク ト シテ ノ Al Mo ゴウキン マク ノ テキヨウ
  • 特集:電子部品・材料,一般
  • トクシュウ デンシ ブヒン ザイリョウ イッパン

この論文をさがす

収録刊行物

参考文献 (10)*注記

もっと見る

詳細情報 詳細情報について

問題の指摘

ページトップへ