サブ100nmCMOSロジック用1.5nmゲート酸窒化膜におけるノックオン酸素の影響
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- サブ 100nmCMOS ロジックヨウ 1 5nm ゲートサン チッカ マク ニ オケル ノックオン サンソ ノ エイキョウ
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- 電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報
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電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 102 (133), 1-6, 2002-06-20
東京 : 電子情報通信学会
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1520290884343737984
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- NII Article ID
- 110003311023
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- NII Book ID
- AA1123312X
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- ISSN
- 09135685
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- NDL BIB ID
- 6221077
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- Text Lang
- ja
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- NDL Source Classification
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- ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
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- Data Source
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- NDL
- CiNii Articles
