高周波グロー放電を用いた電子顕微鏡試料作製技術
書誌事項
- タイトル別名
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- コウシュウハ グロー ホウデン オ モチイタ デンシ ケンビキョウ シリョウ サクセイ ギジュツ
- Electron microscope sample preparation technology using radio frequency glow discharge
- 特集 観察表面・薄片の作製技術
- トクシュウ カンサツ ヒョウメン ・ ハクヘン ノ サクセイ ギジュツ
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収録刊行物
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- Abrasive technology : 砥粒加工学会誌 : journal of the Japan Society for Abrasive Technology
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Abrasive technology : 砥粒加工学会誌 : journal of the Japan Society for Abrasive Technology 64 (11), 555-558, 2020-11
東京 : 砥粒加工学会
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キーワード
詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1520290884441117952
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- NII論文ID
- 40022400174
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- NII書誌ID
- AN10192823
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- ISSN
- 09142703
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- NDL書誌ID
- 030732627
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZN11(科学技術--機械工学・工業)
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- データソース種別
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- NDL
- CiNii Articles