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銅微細パターン作製のための172nm真空紫外光を用いた液晶ポリマーフィルムの表面改質
Bibliographic Information
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- ドウ ビサイ パターン サクセイ ノ タメ ノ 172nm シンクウ シガイコウ オ モチイタ エキショウ ポリマー フィルム ノ ヒョウメン カイシツ
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Journal
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- エレクトロニクス実装学会誌 = Journal of the Japan Institute of Electronics Packaging
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エレクトロニクス実装学会誌 = Journal of the Japan Institute of Electronics Packaging 8 (4), 325-329, 2005-07
東京 : エレクトロニクス実装学会
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Keywords
Details 詳細情報について
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- CRID
- 1520290884722440448
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- NII Article ID
- 10016465912
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- NII Book ID
- AA11231565
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- ISSN
- 13439677
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- NDL BIB ID
- 7413901
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- Text Lang
- ja
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- NDL Source Classification
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- ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
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- Data Source
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- NDL Search
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