誘導熱プラズマの変調-無変調運転を併用した多結晶ダイヤモンド膜生成の検討

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書誌事項

タイトル別名
  • ユウドウ ネツ プラズマ ノ ヘンチョウ-ムヘンチョウ ウンテン オ ヘイヨウ シタ タケッショウ ダイヤモンドマク セイセイ ノ ケントウ
  • Fabrication of Polycrystalline Diamond Films using Series Irradiation of Modulated and Non-Modulated Induction Thermal Plasmas
  • プラズマ パルスパワー 放電 合同研究会 プラズマ・放電・パルスパワー一般
  • プラズマ パルスパワー ホウデン ゴウドウ ケンキュウカイ プラズマ ・ ホウデン ・ パルスパワー イッパン

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