ループ型Ar/N₂/H₂誘導熱プラズマを用いたTi基板表面の高速窒化試験
書誌事項
- タイトル別名
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- ループガタ Ar/N ₂/H ₂ ユウドウ ネツ プラズマ オ モチイタ Ti キバン ヒョウメン ノ コウソク チッカ シケン
- Rapid Nitridation of Ti Surface using Ar/N₂/H₂ Loop Type of Inductively Coupled Thermal Plasmas
- プラズマ パルスパワー 放電合同研究会 環境浄化技術
- プラズマ パルスパワー ホウデン ゴウドウ ケンキュウカイ カンキョウ ジョウカ ギジュツ
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収録刊行物
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- 電気学会研究会資料. ED = The papers of technical meeting on electrical discharges, IEE Japan / 放電研究会 [編]
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電気学会研究会資料. ED = The papers of technical meeting on electrical discharges, IEE Japan / 放電研究会 [編] 2017 (96-110), 23-28, 2017-10-26
東京 : 電気学会
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キーワード
詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1520290884975721728
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- NII論文ID
- 40021378087
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- NII書誌ID
- AN10320559
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- NDL書誌ID
- 028648886
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZN31(科学技術--電気工学・電気機械工業)
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- データソース種別
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- NDLサーチ
- CiNii Articles