ボールねじ駆動テーブル装置での微小変位動作における非線形摩擦の解析と一補償法

書誌事項

タイトル別名
  • ボールネジ クドウ テーブル ソウチ デノ ビショウ ヘンイ ドウサ ニ オケル ヒセンケイ マサツ ノ カイセキ ト イチ ホショウホウ
  • Analysis and compensation for nonlinear friction in micro motion for ball screw-driven table system
  • 産業計測制御研究会 計測・センサ応用,モーションコントロール全般
  • サンギョウ ケイソク セイギョ ケンキュウカイ ケイソク センサ オウヨウ モーション コントロール ゼンパン

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