窒化シリコン中の窒素空孔に導入された元素が電子トラップ準位に与える影響

書誌事項

タイトル別名
  • チッカ シリコン チュウ ノ チッソ クウコウ ニ ドウニュウ サレタ ゲンソ ガ デンシ トラップ ジュンイ ニ アタエル エイキョウ
  • The effect of incorporated elements in nitrogen vacancies on electron trap level in silicon nitride
  • シリコン材料・デバイス
  • シリコン ザイリョウ ・ デバイス

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