シリコンの表面プラズマ処理と表面状態
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- シリコン ノ ヒョウメン プラズマ ショリ ト ヒョウメン ジョウタイ
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Journal
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- 甲南大学紀要. 理学編 / 甲南大学 編
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甲南大学紀要. 理学編 / 甲南大学 編 45 (1), 69-76, 1998
神戸 : 甲南大学
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1520290885158975232
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- NII Article ID
- 40001242335
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- NII Book ID
- AN00084653
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- ISSN
- 04524160
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- NDL BIB ID
- 4521555
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- Text Lang
- ja
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- NDL Source Classification
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- ZM2(科学技術--科学技術一般--大学・研究所・学会紀要)
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- Data Source
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- NDL
- CiNii Articles
