アルゴンイオンビームによるスパッタリングー1-装置の製作とその特性
書誌事項
- タイトル別名
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- アルゴン イオン ビーム ニヨル スパッタリング 1 ソウチ ノ セイサク ト
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説明
記事分類: 物理学--分子・物性
収録刊行物
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- 鳥取大学教育学部研究報告. 自然科学 / 鳥取大学教育学部 [編]
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鳥取大学教育学部研究報告. 自然科学 / 鳥取大学教育学部 [編] 27 (2), p95-103, 1977-06
鳥取 : 鳥取大学教育学部
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1520290885195700736
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- NII論文ID
- 40002732431
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- NII書誌ID
- AN00174585
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- ISSN
- 03715965
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- NDL書誌ID
- 1831329
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZM2(科学技術--科学技術一般--大学・研究所・学会紀要)
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- データソース種別
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- NDL
- CiNii Articles