書誌事項
- タイトル別名
-
- Si ヒョウメン サンソ ノ ジョキョ
- Si表面処理法とその評価(技術ノート)
- Si ヒョウメン ショリホウ ト ソノ ヒョウカ ギジュツ ノート
この論文をさがす
収録刊行物
-
- 応用物理
-
応用物理 61 (11), p1165-1166, 1992-11
東京 : 応用物理学会
- Tweet
詳細情報 詳細情報について
-
- CRID
- 1520290885213383936
-
- NII論文ID
- 10006620473
-
- NII書誌ID
- AN00026679
-
- ISSN
- 03698009
-
- NDL書誌ID
- 3795853
-
- 本文言語コード
- ja
-
- NDL 雑誌分類
-
- ZM17(科学技術--科学技術一般--力学・応用力学)
-
- データソース種別
-
- NDL
- CiNii Articles