a Si:H膜中のN濃度の検定

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  • a Si H マク チュウ ノ N ノウド ノ ケンテイ

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記事分類: 電気工学--電子工学--電子部品--固体素子

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  • 応用物理

    応用物理 53 (7), p644-647, 1984-07

    東京 : 応用物理学会

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