カンチレバ構造を用いたシリコン基板光集積回路流量センサ
書誌事項
- タイトル別名
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- カンチレバ コウゾウ オ モチイタ シリコン キバン ヒカリ シュウセキ カイ
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抄録
記事分類: 電気工学--電子工学--集積回路 ; 測定・測定器--流量
収録刊行物
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- レーザー研究 = The review of laser engineering : レーザー学会誌 / レーザー学会 編
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レーザー研究 = The review of laser engineering : レーザー学会誌 / レーザー学会 編 19 (6), p544-550, 1991-06
吹田 : レーザー学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1520290885257635584
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- NII論文ID
- 40004209430
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- NII書誌ID
- AN00255326
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- ISSN
- 03870200
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- NDL書誌ID
- 3730558
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
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- データソース種別
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- NDL
- CiNii Articles
