高周波スパッタリングによる化学量論的KTa1-xNbxO3膜の作製
書誌事項
- タイトル別名
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- コウシュウハ スパッタリング ニヨル カガク リョウロンテキ KTa1 xNb
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抄録
記事分類: 電気工学--電気材料・部品
収録刊行物
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- 電気学会論文誌. A, 基礎・材料・共通部門誌 = IEEJ transactions on fundamentals and materials
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電気学会論文誌. A, 基礎・材料・共通部門誌 = IEEJ transactions on fundamentals and materials 97 (6), p322-328, 1977-06
東京 : 電気学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1520290885261336448
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- NII論文ID
- 40002516257
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- NII書誌ID
- AN10136312
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- ISSN
- 03854205
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- NDL書誌ID
- 1831074
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZN31(科学技術--電気工学・電気機械工業)
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- データソース種別
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- NDL
- CiNii Articles