高周波イオンプレーティング装置の製作
Bibliographic Information
- Other Title
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- コウシュウハ イオン プレーティング ソウチ ノ セイサク
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Abstract
記事分類: 電気工学--電子工学--電子部品--固体素子
Journal
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- 静岡大学電子工学研究所研究報告
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静岡大学電子工学研究所研究報告 22 (1), p29-35, 1987-08
浜松 : 静岡大学電子工学研究所
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1520290885278366080
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- NII Article ID
- 110007531580
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- NII Book ID
- AN00103204
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- ISSN
- 02863383
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- NDL BIB ID
- 3142642
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- Text Lang
- ja
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- NDL Source Classification
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- ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
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- Data Source
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- NDL
- CiNii Articles