書誌事項
- タイトル別名
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- MOS-FET ノ ビサイカ ニ カカワル イオン チュウニュウ ギジュツ
- ミニ特集「最近のイオン・インプランテーション技術」
- ミニ トクシュウ サイキン ノ イオン インプランテーション ギジュツ
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収録刊行物
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- まてりあ = Materia Japan
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まてりあ = Materia Japan 38 (2), 111-114, 1999-02
仙台 : 日本金属学会 ; 1994-
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1520290885312195200
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- NII論文ID
- 10002547132
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- NII書誌ID
- AN10433227
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- ISSN
- 13402625
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- NDL書誌ID
- 4788649
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZP41(科学技術--金属工学・鉱山工学)
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- データソース種別
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- NDLサーチ
- CiNii Articles
