hp32/22nmノードに向けたFEOLの技術動向
Bibliographic Information
- Other Title
-
- hp32 22nm ノード ニ ムケタ FEOL ノ ギジュツ ドウコウ
- 特集 半導体プロセスを支える製造・試験装置と材料
- トクシュウ ハンドウタイ プロセス オ ササエル セイゾウ シケン ソウチ ト ザイリョウ
Search this article
Journal
-
- 電子材料
-
電子材料 49 (5), 18-21, 2010-05
東京 : 工業調査会
- Tweet
Details 詳細情報について
-
- CRID
- 1520291854920159488
-
- NII Article ID
- 40017119154
-
- NII Book ID
- AN00153166
-
- ISSN
- 03870774
-
- NDL BIB ID
- 10695733
-
- Text Lang
- ja
-
- NDL Source Classification
-
- ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
-
- Data Source
-
- NDL
- CiNii Articles
