SIサイリスタを用いたナノパルス電源による大気圧下でのダイヤモンド状炭素膜成膜
書誌事項
- タイトル別名
-
- SI サイリスタ オ モチイタ ナノパルス デンゲン ニ ヨル タイキアツカ デ ノ ダイヤモンドジョウ タンソ マクセイマク
この論文をさがす
収録刊行物
-
- SIデバイスシンポジウム講演論文集
-
SIデバイスシンポジウム講演論文集 (17), 9-14, 2004
[厚木] : [SIデバイス研究会]
