超精密ポリシングと半導体平坦化CMP
Bibliographic Information
- Other Title
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- チョウセイミツ ポリシング ト ハンドウタイ ヘイタンカ CMP
- 特集1 半導体平坦化CMP技術と他分野応用におけるトライボロジー
- トクシュウ 1 ハンドウタイ ヘイタンカ CMP ギジュツ ト タ ブンヤ オウヨウ ニ オケル トライボロジー
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Journal
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- 月刊トライボロジー
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月刊トライボロジー 15 (7), 12-15, 2001-07
東京 : 新樹社
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1520291855290900224
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- NII Article ID
- 40004710914
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- NII Book ID
- AN10221852
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- ISSN
- 09146121
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- NDL BIB ID
- 5837674
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- Text Lang
- ja
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- NDL Source Classification
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- ZN11(科学技術--機械工学・工業)
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- Data Source
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- NDL
- CiNii Articles