MEMS技術の最新動向--東北大学におけるプロジェクト
Bibliographic Information
- Other Title
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- MEMS ギジュツ ノ サイシン ドウコウ トウホク ダイガク ニ オケル プロジェクト
- 特集 応用分野を拡大するマイクロマシン製品/MEMS技術
- トクシュウ オウヨウ ブンヤ オ カクダイ スル マイクロマシン セイヒン MEMS ギジュツ
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Journal
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- 電子材料
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電子材料 49 (7), 10-14, 2010-07
東京 : 工業調査会
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1520291855423084544
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- NII Article ID
- 40018720213
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- NII Book ID
- AN00153166
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- ISSN
- 03870774
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- NDL BIB ID
- 11011198
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- Text Lang
- ja
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- NDL Source Classification
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- ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
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- Data Source
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