サブクォータミクロンロジックLSI用高信頼性銅配線の開発
Bibliographic Information
- Other Title
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- サブクォータ ミクロン ロジック LSIヨウ コウ シンライセイ ドウ ハイセ
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Abstract
資料形態 : テキストデータ プレーンテキスト
Journal
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- 沖電気研究開発
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沖電気研究開発 64 (2), 67-72, 1997-04
東京 : 沖電気工業沖時報編集委員会
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1520291855512991744
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- NII Article ID
- 40003969928
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- NII Book ID
- AN00033368
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- ISSN
- 0286892X
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- NDL BIB ID
- 4183841
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- Text Lang
- ja
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- NDL Source Classification
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- ZN31(科学技術--電気工学・電気機械工業)
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- Data Source
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- NDL
- CiNii Articles
