スパッタリング・高圧リフロープロセスによるCu合金配線形成技術
Bibliographic Information
- Other Title
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- スパッタリング コウアツ リフロープロセス ニ ヨル Cu ゴウキン ハイセン ケイセイ ギジュツ
- Fabrication technique of damascene Cu interconnections by sputter deposition and high pressure annealing process
- 特集 これだけは知っておきたい最新の配線・実装材料技術
- トクシュウ コレダケ ワ シッテオキタイ サイシン ノ ハイセン ジッソウ ザイリョウ ギジュツ
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Journal
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- 金属
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金属 77 (8), 866-871, 2007-08
東京 : アグネ技術センター
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1520291855593960960
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- NII Article ID
- 40015580972
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- NII Book ID
- AN00272132
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- ISSN
- 03686337
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- NDL BIB ID
- 8903548
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- Text Lang
- ja
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- NDL Source Classification
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- ZP41(科学技術--金属工学・鉱山工学)
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- Data Source
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- NDL
- CiNii Articles