低角度N⁺イオンビーム照射によるPTFE表面のCu薄膜付着性の改善

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タイトル別名
  • テイカクド N ⁺ イオンビーム ショウシャ ニ ヨル PTFE ヒョウメン ノ Cu ハクマク フチャクセイ ノ カイゼン
  • Improvement of Adhesiveness of Cu Films on a PTFE Surface Irradiated with Low-Angle N⁺ Ion Beam

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