高純度窒化ガリウムスパッタリングターゲットを用いたエピタキシャル成長と評価
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- コウジュンド チッカ ガリウムスパッタリングターゲット オ モチイタ エピタキシャル セイチョウ ト ヒョウカ
- Fabrication and Characterization of Epitaxial Film by High-purity GaN Sputtering Target
- 電子材料研究会 次世代デバイス応用へ向けたエコシステム材料の合成・物性評価
- デンシ ザイリョウ ケンキュウカイ ジセダイ デバイス オウヨウ エ ムケタ エコ システム ザイリョウ ノ ゴウセイ ・ ブッセイ ヒョウカ
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- 電気学会研究会資料. EFM / 電気学会電子材料研究会 [編]
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電気学会研究会資料. EFM / 電気学会電子材料研究会 [編] 2023 (1-13・15・17-31), 3-6, 2023-11
東京 : 電気学会