圧電MEMS光スキャナのフィードバック制御に向けた静電振角センサの検討
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- アツデン MEMS ヒカリ スキャナ ノ フィードバック セイギョ ニ ムケタ セイデンシンカク センサ ノ ケントウ
- Electrostatic position sensor for piezoelectric MEMS scanner
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- 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編]
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「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編] 40 4p-, 2023-11
[東京] : Institute of Electrical Engineers of Japan
