マイクロ波プラズマCVD装置におけるFRITを用いたプラズマ発光強度比制御系の一設計
Bibliographic Information
- Other Title
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- マイクロハ プラズマ CVD ソウチ ニ オケル FRIT オ モチイタ プラズマ ハッコウ キョウドヒ セイギョケイ ノ イチ セッケイ
- A Design of Plasma Emission Intensity Ratio Control System for a Microwave Plasma CVD Process Using FRIT
- 特集 スマートシステムと計測・制御技術
- トクシュウ スマート システム ト ケイソク ・ セイギョ ギジュツ
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Journal
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- 電気学会論文誌. C, 電子・情報・システム部門誌 = IEEJ transactions on electronics, information and systems
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電気学会論文誌. C, 電子・情報・システム部門誌 = IEEJ transactions on electronics, information and systems 144 (3), 127-132, 2024-03
東京 : 電気学会
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1520299539223809920
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- NII Book ID
- AN10065950
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- ISSN
- 03854221
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- NDL BIB ID
- 033377031
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- Text Lang
- ja
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- NDL Source Classification
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- ZN31(科学技術--電気工学・電気機械工業)
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- Data Source
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- NDL