mist-CVD法によるカーボンナノチューブフォレストへの均質シリカ誘電膜形成
書誌事項
- タイトル別名
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- mist-CVDホウ ニ ヨル カーボンナノチューブフォレスト エ ノ キンシツ シリカ ユウデンマク ケイセイ
- Homogeneous silica dielectric layer coating on carbon nanotube forest by mist-CVD method
- 誘電・絶縁材料/放電・プラズマ・パルスパワー/高電圧合同研究会・放電・プラズマ・パルスパワー,高電圧,誘電・絶縁材料
- ユウデン ・ ゼツエン ザイリョウ/ホウデン ・ プラズマ ・ パルスパワー/コウデンアツ ゴウドウ ケンキュウカイ ・ ホウデン ・ プラズマ ・ パルスパワー,コウデンアツ,ユウデン ・ ゼツエン ザイリョウ
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収録刊行物
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- 電気学会研究会資料. DEI
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電気学会研究会資料. DEI 2024 (1-12), 19-21, 2024-01-19
東京 : 電気学会