RFマグネトロンスパッタリング法による単結晶ダイヤモンド(111)基板上のβ-Ga₂O₃薄膜のヘテロエピタキシャル成長
書誌事項
- タイトル別名
-
- RF マグネトロンスパッタリングホウ ニ ヨル タンケッショウ ダイヤモンド(111)キバン ジョウ ノ v-Ga ₂ O ₃ ハクマク ノ ヘテロエピタキシャル セイチョウ
この論文をさがす
収録刊行物
-
- New diamond = ニューダイヤモンド / ニューダイヤモンドフォーラム 編
-
New diamond = ニューダイヤモンド / ニューダイヤモンドフォーラム 編 40 (2), 22-24, 2024-04
東京 : ニューダイヤモンドフォーラム
- Tweet
詳細情報 詳細情報について
-
- CRID
- 1520300313413557504
-
- NII書誌ID
- AN1020856X
-
- ISSN
- 13404792
-
- NDL書誌ID
- 033499683
-
- 本文言語コード
- ja
-
- NDL 雑誌分類
-
- ZP9(科学技術--化学・化学工業--無機化学・無機化学工業--セラミックス・窯業)
-
- データソース種別
-
- NDLサーチ