RFマグネトロンスパッタリング法による単結晶ダイヤモンド(111)基板上のβ-Ga₂O₃薄膜のヘテロエピタキシャル成長

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  • RF マグネトロンスパッタリングホウ ニ ヨル タンケッショウ ダイヤモンド(111)キバン ジョウ ノ v-Ga ₂ O ₃ ハクマク ノ ヘテロエピタキシャル セイチョウ

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