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RFマグネトロンスパッタリング法による単結晶ダイヤモンド(111)基板上のβ-Ga₂O₃薄膜のヘテロエピタキシャル成長
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- RF マグネトロンスパッタリングホウ ニ ヨル タンケッショウ ダイヤモンド(111)キバン ジョウ ノ v-Ga ₂ O ₃ ハクマク ノ ヘテロエピタキシャル セイチョウ
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Journal
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- New diamond = ニューダイヤモンド / ニューダイヤモンドフォーラム 編
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New diamond = ニューダイヤモンド / ニューダイヤモンドフォーラム 編 40 (2), 22-24, 2024-04
東京 : ニューダイヤモンドフォーラム
