RFマグネトロンスパッタリング法による単結晶ダイヤモンド(111)基板上のβ-Ga₂O₃薄膜のヘテロエピタキシャル成長
書誌事項
- タイトル別名
-
- RF マグネトロンスパッタリングホウ ニ ヨル タンケッショウ ダイヤモンド(111)キバン ジョウ ノ v-Ga ₂ O ₃ ハクマク ノ ヘテロエピタキシャル セイチョウ
この論文をさがす
収録刊行物
-
- New diamond = ニューダイヤモンド / ニューダイヤモンドフォーラム 編
-
New diamond = ニューダイヤモンド / ニューダイヤモンドフォーラム 編 40 (2), 22-24, 2024-04
東京 : ニューダイヤモンドフォーラム
