低気圧誘導結合放電によるMg-不活性ガス混合プラズマの生成とMg薄膜の合成
書誌事項
- タイトル別名
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- テイキアツ ユウドウ ケツゴウ ホウデン ニ ヨル Mg-フカッセイ ガス コンゴウ プラズマ ノ セイセイ ト Mg ハクマク ノ ゴウセイ
- Generation of Mg-inert gas mixture plasma and Mg thin film synthesis
- 放電・プラズマ・パルスパワー/静止器/開閉保護 合同研究会・アークプラズマ・電気接点とその応用
- ホウデン ・ プラズマ ・ パルスパワー/セイシキ/カイヘイ ホゴ ゴウドウ ケンキュウカイ ・ アークプラズマ ・ デンキ セッテン ト ソノ オウヨウ
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収録刊行物
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- 電気学会研究会資料. SP = The papers of technical meeting on switching and protecting engineering, IEE Japan / 開閉保護研究会 [編]
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電気学会研究会資料. SP = The papers of technical meeting on switching and protecting engineering, IEE Japan / 開閉保護研究会 [編] 2024 (1-7), 5-9, 2024-08-05
東京 : 電気学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1520301607092293120
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- NII書誌ID
- AN10462327
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- NDL書誌ID
- 033700867
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZN32(科学技術--電気工学・電気機械工業--電力)
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- データソース種別
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- NDLサーチ