Cr-NおよびFe-Pd薄膜のひずみ・温度同時計測触覚センサへの応用

書誌事項

タイトル別名
  • Cr-N オヨビ Fe-Pd ハクマク ノ ヒズミ ・ オンド ドウジ ケイソク ショッカク センサ エ ノ オウヨウ
  • Application of Cr-N and Fe-Pd Thin Films to Tactile Sensors for Simultaneous Strain and Temperature Measurement
  • 特集 ヒト感性デバイスのための機能性材料と応用技術
  • トクシュウ ヒト カンセイ デバイス ノ タメ ノ キノウセイ ザイリョウ ト オウヨウ ギジュツ

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