二重トンネル接合層を用いた15nmプラナーバルクSONOS型メモリー素子

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タイトル別名
  • 2ジュウ トンネル セツゴウソウ オ モチイタ 15nm プラナー バルク SONOSガタ メモリー ソシ
  • 15nm planar bulk SONOS-type memory with double junction tunnel layers
  • シリコン材料・デバイス
  • シリコン ザイリョウ デバイス

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