極薄シリコン酸窒化膜の種々の結合形態にある窒素原子の深さ方向分布
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- Other Title
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- ゴクウス シリコンサン チッカ マク ノ シュジュ ノ ケツゴウ ケイタイ ニ アル チッソ ゲンシ ノ フカサ ホウコウ ブンプ
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- 電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報
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電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 105 (108), 49-54, 2005-06-09
東京 : 電子情報通信学会
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1520572357281065600
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- NII Article ID
- 10016574232
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- NII Book ID
- AA1123312X
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- ISSN
- 09135685
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- NDL BIB ID
- 7367438
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- Text Lang
- ja
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- NDL Source Classification
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- ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
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- Data Source
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- NDL
- CiNii Articles
