超硬質薄膜形成技術の新展開<特集>
書誌事項
- タイトル別名
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- チョウ コウシツ ハクマク ケイセイ ギジュツ ノ シン テンカイ トクシュウ
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抄録
記事分類: 金属工学・鉱山工学--金属加工--表面処理 ; 化学・化学工業--無機化学・無機化学工業--非金属元素・非金属化合物--セラミックス
収録刊行物
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- 精密工学会誌 = Journal of the Japan Society for Precision Engineering / 会誌編集委員会 編
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精密工学会誌 = Journal of the Japan Society for Precision Engineering / 会誌編集委員会 編 53 (10), p1503-1543, 1987-10
東京 : 精密工学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1520572357345158912
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- NII論文ID
- 40004585676
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- NII書誌ID
- AN1003250X
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- ISSN
- 09120289
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- NDL書誌ID
- 3157981
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZN12(科学技術--機械工学・工業--精密機械)
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- データソース種別
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- NDL
- CiNii Articles