ウェットプロセス膜の低エネルギーArイオン照射による高性能化
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- Other Title
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- ウェットプロセス マク ノ テイエネルギー Ar イオン ショウシャ ニ ヨル コウセイノウカ
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Journal
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- 材料試験技術 = Journal of Material Testing Research Association of Japan
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材料試験技術 = Journal of Material Testing Research Association of Japan 50 (2), 64-68, 2005-04
東京 : 日本材料試験技術協会
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Keywords
Details 詳細情報について
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- CRID
- 1520572357349355136
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- NII Article ID
- 40006762445
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- NII Book ID
- AN0033237X
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- ISSN
- 02852470
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- NDL BIB ID
- 7351004
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- Text Lang
- ja
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- NDL Source Classification
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- ZM16(科学技術--科学技術一般--工業材料・材料試験)
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- Data Source
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- NDL
- CiNii Articles