複合砥粒を用いた研磨に適した研磨パッドの表面構造
書誌事項
- タイトル別名
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- フクゴウトリュウ オ モチイタ ケンマ ニ テキシタ ケンマ パッド ノ ヒョウメン コウゾウ
- Surface structure of polishing pads for polishing using composite abrasives
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収録刊行物
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- 立命館大学理工学研究所紀要 = Memoirs of the Institute of Science & Engineering / 立命館大学理工学研究所 編
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立命館大学理工学研究所紀要 = Memoirs of the Institute of Science & Engineering / 立命館大学理工学研究所 編 (75), 57-67, 2016
草津 : 立命館大学理工学研究所
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1520572357390771968
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- NII論文ID
- 40021193131
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- NII書誌ID
- AN00250071
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- ISSN
- 03704254
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- NDL書誌ID
- 028176301
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZM2(科学技術--科学技術一般--大学・研究所・学会紀要)
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- データソース種別
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- NDL
- CiNii Articles