Characteristics of Capillary Discharge Plasma Tool for Micro-Machine Fabrications
書誌事項
- タイトル別名
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- Characteristics of Capillary Discharge Plasma Tool for Micro Machine Fabrications
- マイクロマシーン作成用の細管放電プラズマシールの特性
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収録刊行物
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- 東京電機大学工学部研究報告 / 東京電機大学工学部 編
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東京電機大学工学部研究報告 / 東京電機大学工学部 編 (49), 1-11, 2001-12
東京 : 東京電機大学工学部
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1520572357417373696
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- NII論文ID
- 40005877100
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- NII書誌ID
- AN00162961
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- ISSN
- 0389617X
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- NDL書誌ID
- 6639923
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- 本文言語コード
- en
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- NDL 雑誌分類
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- ZN31(科学技術--電気工学・電気機械工業)
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- データソース種別
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- NDL
- CiNii Articles