半導体ナノテクノロジー研究室の研究概要--3族窒化物半導体薄膜のエピタキシャル成長と評価

書誌事項

タイトル別名
  • ハンドウタイ ナノテクノロジー ケンキュウシツ ノ ケンキュウ ガイヨウ 3ゾク チッカブツ ハンドウタイ ハクマク ノ エピタキシャル セイチョウ ト ヒョウカ
  • Research outline of semiconductor nanotechnology laboratory: epitaxial growth and characterization of 3-nitride semiconductor thin films
  • [日本工業大学]創造システム工学科特集号 ; 創造システム工学科の研究活動および研究活動を通じた教育実践
  • ニホン コウギョウ ダイガク ソウゾウ システム コウガクカ トクシュウゴウ ; ソウゾウ システム コウガクカ ノ ケンキュウ カツドウ オヨビ ケンキュウ カツドウ オ ツウジタ キョウイク ジッセン

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