書誌事項
- タイトル別名
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- タゲンシ ブンシ イオンビーム ニ ヨル シリコン ヒョウメン ショウシャ コウカ
- Irradiation effects of silicon surface by polyatomic ion beams
- シリコン材料・デバイス
- シリコン ザイリョウ デバイス
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収録刊行物
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- 電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報
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電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 110 (351), 69-72, 2010-12-17
東京 : 電子情報通信学会
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キーワード
詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1520572357705419520
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- NII論文ID
- 110008676031
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- NII書誌ID
- AA1123312X
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- ISSN
- 09135685
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- NDL書誌ID
- 10938340
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
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- データソース種別
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- NDL
- CiNii Articles
- KAKEN