MEMSマイクロホンの犠牲層エッチング後に発生する柱状異物の発生メカニズムと抑制手法の検証
書誌事項
- タイトル別名
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- MEMS マイクロホン ノ ギセイソウ エッチング ゴ ニ ハッセイ スル チュウジョウ イブツ ノ ハッセイ メカニズム ト ヨクセイ シュホウ ノ ケンショウ
- Mechanism and improvement of an unexpected pillar material after sacrificial etching process of MEMS microphone
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収録刊行物
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- 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編]
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「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編] 35 4p-, 2018
[東京] : Institute of Electrical Engineers of Japan
