単結晶シリコンおよびN[+]イオン注入シリコンのフレッチング摩耗特性
書誌事項
- タイトル別名
-
- タンケッショウ シリコン オヨビ N イオン チュウニュウ シリコン ノ フレッチング マモウ トクセイ
- Fretting wear of single crystal and ion-implanted silicon
この論文をさがす
収録刊行物
-
- 千葉工業大学研究報告. 理工編
-
千葉工業大学研究報告. 理工編 (54), 11-19, 2007
習志野 : 千葉工業大学
- Tweet
キーワード
詳細情報 詳細情報について
-
- CRID
- 1520572357937954432
-
- NII論文ID
- 40015395002
-
- NII書誌ID
- AN00142534
-
- ISSN
- 03857026
-
- NDL書誌ID
- 8744508
-
- 本文言語コード
- ja
-
- NDL 雑誌分類
-
- ZM2(科学技術--科学技術一般--大学・研究所・学会紀要)
-
- データソース種別
-
- NDLサーチ
- CiNii Articles