水酸化フラーレンを用いたCu化学機械研磨特性と加工メカニズム解析
Bibliographic Information
- Other Title
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- スイサンカ フラーレン オ モチイタ Cu カガク キカイ ケンマ トクセイ ト カコウ メカニズム カイセキ
- Polishing Performance and Mechanism for Copper Surface CMP Using Water-Soluble Fullerenol
- 特集 化学機械研磨の最新技術
- トクシュウ カガク キカイ ケンマ ノ サイシン ギジュツ
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Journal
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- トライボロジスト = Journal of Japanese Society of Tribologists / 日本トライボロジー学会 編
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トライボロジスト = Journal of Japanese Society of Tribologists / 日本トライボロジー学会 編 59 (12), 765-772, 2014
東京 : 日本トライボロジー学会 ; 1989-
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1520572358080061952
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- NII Article ID
- 40020301835
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- NII Book ID
- AN10056166
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- ISSN
- 09151168
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- NDL BIB ID
- 025983956
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- Text Lang
- ja
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- NDL Source Classification
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- ZN11(科学技術--機械工学・工業)
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- Data Source
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- NDL
- CiNii Articles