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ガスフロースパッタ法における低エネルギーイオンアシストによるITO薄膜の低温結晶化
Bibliographic Information
- Other Title
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- ガスフロースパッタホウ ニ オケル テイエネルギーイオンアシスト ニ ヨル ITO ハクマク ノ テイオン ケッショウカ
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Journal
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- 電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報
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電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 105 (223), 5-10, 2005-08-01
東京 : 電子情報通信学会
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Keywords
Details 詳細情報について
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- CRID
- 1520572358091972096
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- NII Article ID
- 110003224754
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- NII Book ID
- AN10012932
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- ISSN
- 09135685
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- NDL BIB ID
- 7432123
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- Text Lang
- ja
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- NDL Source Classification
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- ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
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- Data Source
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- NDL Search
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