Influence of laser plasma soft X-ray irradiation on crystallization of a-Si film by infrared furnace annealing
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- Influence of laser plasma soft X ray irradiation on crystallization of a Si film by infrared furnace annealing
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- 兵庫県立大学大学院工学研究科研究報告 = Reports of Graduate School of Engineering, University of Hyogo / 兵庫県立大学大学院工学研究科 編
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兵庫県立大学大学院工学研究科研究報告 = Reports of Graduate School of Engineering, University of Hyogo / 兵庫県立大学大学院工学研究科 編 (63), 29-32, 2010
神戸 : 兵庫県立大学
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1520572358189728512
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- NII Article ID
- 40018788599
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- NII Book ID
- AA12010550
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- ISSN
- 1349855X
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- NDL BIB ID
- 11061812
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- Text Lang
- en
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- NDL Source Classification
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- ZM2(科学技術--科学技術一般--大学・研究所・学会紀要)
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- Data Source
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- NDL
- CiNii Articles
