GaAs(001)上のAlNスパッタ堆積およびAl2O3原子層堆積における表面前処理の効果
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- GaAs 001 ジョウ ノ AlN スパッタ タイセキ オヨビ Al2O3 ゲンシソウ タイセキ ニ オケル ヒョウメン マエ ショリ ノ コウカ
- Effects of surface pre-treatments for AlN sputtering and Al2O3 atomic layer depositions on GaAs(001)
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- 電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報
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電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 111 (167), 25-30, 2011-07
東京 : 電子情報通信学会
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1520572358380548096
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- NII Article ID
- 110008800754
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- NII Book ID
- AA1123312X
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- ISSN
- 09135685
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- NDL BIB ID
- 11200178
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- Text Lang
- ja
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- NDL Source Classification
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- ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
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- Data Source
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- NDL
- CiNii Articles
