プラズマCVD法によるTiN皮膜の合成および皮膜の特性
書誌事項
- タイトル別名
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- プラズマ CVDホウ ニ ヨル TiN ヒマク ノ ゴウセイ オヨビ ヒマク ノ トクセイ
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収録刊行物
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- 材料試験技術 = Journal of Material Testing Research Association of Japan
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材料試験技術 = Journal of Material Testing Research Association of Japan 50 (4), 191-197, 2005-10
東京 : 日本材料試験技術協会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1520572358404819200
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- NII論文ID
- 40007009111
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- NII書誌ID
- AN0033237X
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- ISSN
- 02852470
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- NDL書誌ID
- 7713467
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZM16(科学技術--科学技術一般--工業材料・材料試験)
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- データソース種別
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- NDL
- CiNii Articles