高規則性陽極酸化ポーラスアルミナを用いたナノインプリント

書誌事項

タイトル別名
  • コウキソクセイ ヨウキョク サンカ ポーラスアルミナ オ モチイタ ナノインプリント
  • Nanoimprinting using ordered anodic porous alumina
  • 特集 ナノインプリントリソグラフィ技術における微細化と低コスト化の現状
  • トクシュウ ナノインプリントリソグラフィ ギジュツ ニ オケル ビサイカ ト テイコストカ ノ ゲンジョウ

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