時間応答性の異なる検知部を集積したマイクロカンチレバー型 触覚センサの基礎検討
書誌事項
- タイトル別名
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- ジカン オウトウセイ ノ コトナル ケンチブ オ シュウセキ シタ マイクロカンチレバーカタ ショッカク センサ ノ キソ ケントウ
- Characterization of BiFeO₃ thin film for tactile sensor using microcantilevers with piezoelectric capacitor and strain-gauge
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収録刊行物
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- 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編]
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「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編] 32 1-4, 2015-10
[東京] : Institute of Electrical Engineers of Japan
