実験とデバイスシミュレーションによるnMOSFETの応力に起因したDC特性変動評価

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  • ジッケン ト デバイス シミュレーション ニ ヨル nMOSFET ノ オウリョク ニ キインシタ DC トクセイ ヘンドウ ヒョウカ
  • Experimental and numerical evaluation of stress effects on DC characteristics of nMOSFETs

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